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30 kV 時 3.0 nm (SE)

30 kV 時 3.0 nm (SE)（低真空）

3 kV 時 8.0 nm (SE)

3 kV 時 7.0 nm（BD 模式* + BSE）

內(nèi)寬：280 mm

接口：多個附件接口，可加裝EBSD 和 EDS 等多種附件。

XY：120x120 mm

傾斜：-15 到 +90 度

旋轉(zhuǎn)：n x 360°

在 ZTR 軸已卸下時：

大面積TrueSight EDS 探測器

Quasor-II EBSD

ChemiSEM 高級功能，可實現(xiàn)漂移矯正及譜峰剝離

ChemiView 用于能譜離線數(shù)據(jù)處理

電子束減速模式

CleanHeater 加熱臺 (高1,100°C)

陰極熒光探測器

AutoScript 4 Software—基于Python的應(yīng)用程序編程界面

Thermo Scientific TopoMaps 軟件實現(xiàn)圖像著色及分析，以及3D表面重構(gòu)